1. 技术规格及参数
1.1 炉型: 单室、卧式
1.2 控制方式: 自动或手动
1.3 控温方式: 控温仪自动控温
1.4 控温区数: 1区控温
1.5 有效工作区尺寸: 400(L)×200(W)×200(H)mm
1.6 最大装炉量: 50Kg(含工装夹具)
1.7 最高温度: 1300℃
1.8 温度均匀性: ±5℃
1.9 极限真空度: ≤4×10-1Pa
1.10 工作真空度: ≤4Pa
1.11 压升率: ≤0.65 Pa/h
1.12 加热功率: 30Kw
1.13 气冷压强: 0.8-2bar数字可任意调节
1.14 分压压强: 5-1000Pa
1.15参与温度热电偶: 炉膛、工件表面、工件芯部
2.标准结构及其特点
2.1真空炉主机为卧式、单室结构,由炉体、炉门、加热室、风冷系统等组成。
2.1.1炉体与炉门为双壁水冷结构。炉体内、外壁采用优质碳素钢板卷焊而成,一端与炉门法兰焊接,另一端带封头和气冷系统的电机连接法兰焊接,内通冷却水。炉体与炉门之间为双向密封结构,用锁紧圈锁紧,保证了真空炉在负压和气冷时的密封。炉体后部带有风冷电机,电机外部带有电机罩,通有冷却水。
2.1.2加热室(炉胆)由隔热层、加热元件和料台等组成。
* 隔热层为5层保温材料制成,材质为石墨纤维毡。
* 加热元件采用石墨管,用陶瓷件绝缘。加热元件沿隔热层内壁圆周方向均匀布置,加热均匀、热损失小;可单独拆卸,且更换方便。
* 料台由石墨支柱、石墨炉床及陶瓷隔条组成。
2.1.3气冷系统:在炉体后部有高压叶轮风机、多级高效铜-铜换热器和导流装置等组成。充气冷却时,充入高纯氮气或高纯氩气,在高速叶轮风机的驱动下,气体经过高效率的铜-铜换热器吸进叶轮,使工件均匀的强制冷却。形成强制高流率循环,实现工件快速气冷。真空炉采用方形换热器,有效的提高了冷却速率,减少了冷却所需时间。
2.2真空系统:由2X-30选片泵、ZJ-300罗茨增压泵以及真空挡板阀组成的真空机组和装设在真空管道上的气动挡板阀、柔性连接件、电接点压力表、规管及其附属装置。
2.3电控系统由可控硅调压器--微处理机组成的温度程序控制、压力控制仪和可编程序控制器(PLC)组成的机械动作程序控制两部分组成,可实现自动化程序控制及手动控制。